真空用金属密封圈 金属密封圈密封的可拆卸联接是超高真空系统中常用的联接形式。它是为满足超高线℃的高温烘烤除气而采用的密封方式。 常用的金属密封圈的材料有金丝和无氧铜两种，它们呢有下列一些性能： 金(AU)具有高的化学稳定性，高温时不氧化，塑性好，屈服极限比铜或铝低一倍，在较小的夹紧力下即可产生塑性变形，Kaiyun App下载 全站膨胀系数为ag=14×10-6cm/cm.℃,比不锈钢的膨胀系数as=14×10-6
真空用金属密封圈 金属密封圈密封的可拆卸联接是超高真空系统中常用的联接形式。它是为满足超高线℃的高温烘烤除气而采用的密封方式。 常用的金属密封圈的材料有金丝和无氧铜两种，它们呢有下列一些性能： 金(AU)具有高的化学稳定性，高温时不氧化，塑性好，Kaiyun App下载 全站屈服极限比铜或铝低一倍，在较小的夹紧力下即可产生塑性变形，膨胀系数为ag=14×10-6cm/cm.℃,比不锈钢的膨胀系数as=14×10-6cm/cm.℃稍低。金制密封圈虽有良好的密封性能，但在夹紧力的作用下会发生显著的变化硬度，强度增加，为了保证密封圈密封，必须增大夹紧力，而过大的夹紧力又会在法兰表面上引起压痕，影响密封性能。因此，用在要求较高而不经常装拆的联接，拆开后重新装配时需更换密封圈。由于金的价格比较贵，它的应用受到较大的限制。 铜(Cu)的热膨胀系数为ac=16.4×10-6cm/cm.℃。铜的硬度比较大，铜制密封圈在使用钱必须在真空中或氢气中进行退火处理，消除内应力。无氧铜是目前超高真空密封联接中常用的密封圈材料。其不足之处是高温烘烤中与大气接触部分会氧化，因此，在要求高的情况下，将无氧铜密封圈表面镀一层金，使其具有更好的密封性能。 作为联接用的法兰盘材料也必须能承受高温烘烤、抗氧化以及在高温时仍有良好的力学性能。最常用的材料是不锈钢。法兰密封表面的粗糙度和尺寸精度均应满足超高真空密封的要求。
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应注意：法兰材料和金属密封圈的热膨胀系数的差值大小对密封性能有较大的影响。例如，不锈钢法兰用铝密封圈密封联接时，因它们的热膨胀系数几乎相差一倍，在加热或烘烤除气时需增大压紧力，才能保证密封。反之，冷却时密封性能变坏，造成泄漏，因而有时需要继续拧紧螺栓或加弹簧垫圈。所以在超高真空密封联接时大多采用无氧铜和不锈钢来制造密封圈和法兰，这样可以在往复加热几十次的情况下仍有较好的密封性能。 金丝密封法兰联接结构型式见图9-5.法兰型式见图9-6.通常用于直径较大的法兰联接或不需要经常装拆的联接。一般将金丝压缩到原有的1/2，即可得到良好的密封效果。这种结构最高允许烘烤温度为450℃，密封的漏气不大于10-8Pa.1/s. 金丝密封法兰结构尺寸参见表9-16.金丝密封圈型式见图9-7.金丝密封圈的尺寸见表9-17.
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铜密封圈密封法兰联接结构型式如图9-8.图9-9为固定式铜密封圈密封法兰;图9-10为活套式铜密封圈密封法兰;图9-11为实心式铜密封圈密封法兰。通常采用的刀刃密封机构，刀刃的角度有70和75两种，国内以70为多，Kaiyun App下载 全站75的刀刃承受的夹紧力较大。
