开云体育 开云平台开云体育 开云平台开云体育 开云平台界 2024 年 7 月 20 日消息,天眼查知识产权信息显示,山东天岳先进科技股份有限公司申请一项名为“一种长晶炉压力控制器自动修复系统及方法“,公开号 CN8.2,申请日期为 2024 年 3 月。
专利摘要显示,本发明提供一种长晶炉压力控制器自动修复系统及方法,属于碳化硅生长及外延技术领域,所述系统包括工控计算机、控制扩展模块、截止阀、真空泵和压力控制器接口;控制扩展模块与工控计算机、截止阀、开云 开云体育真空泵均连接;工控计算机还与压力控制器接口连接;截止阀一端与大气连通,另一端通过第一气体管路与压力控制器接口连接,压力控制器通过第二气体管路与真空泵连接;第一气体管路上设有压力传感器,开云 开云体育压力传感器与压力控制器接口连接;压力控制器接口连接有压力控制器;工控计算机向压力控制器发送磨合指令,开云 开云体育并在磨合指令完成后验证压力控制器的密封性,进行压力控制器参数配置修复。